華星光電采購ITO沉積設備用于OLED試產線

　　華星光電將采用荷蘭激光沉積設備的新設備向OLED顯示屏上沉積ITO電極。據荷蘭激光沉積設備制造商Solmates消息，其向華星光電(CSOT)出售了一套小型面板(200×200mm)脈沖激光沉積(PLD)設備，將用于武漢的OLED試產線。

　　Solmates擁有采用脈沖激光沉積實現OLED ITO電極沉積專利，并開發出能在室溫下大面積沉積ITO的技術。脈沖激光沉積可以實現高品質ITO沉積，Solmates表示，實現透明度高于目前的工藝。Solmates的設備將被安裝于自2016年底開始在武漢建設的自動化裝配產線。Solmates將于2017年6月發貨。目前的設備主要用于研發，不過該技術也可以擴展到更大基板以及用于生產系統。

　　華星光電將采用該設備進行ITO沉積，但也可以配置用于封裝層無機層的沉積，這一流程目前采用PECVD或ALD工藝。

　　華星光電為TCL子公司，于2015年7月宣布建設武漢6代LTPS工廠。該廠將生產液晶和OLED面板，總投資26億美元。采用激光脈沖沉積法的新研發產線也位于該廠，將用于新技術研發和改善公司的OLED制造工藝。