優化制程參數 臺工研院讓LED生產變簡單

　　在發光二極體(LED)繁復的磊晶制程中，氣體組成和流量、壓力、基板溫度和轉速等參數會交互影響，往往需要花很長的時間來設定及調整磊晶參數，根據以往經驗，做一組參數需要6到8小時，找出最佳化制程參數往往耗費一周，而且必須仰賴具多年磊晶制程經驗人員判斷參數設定，才能得出更好的良率，因此“人”成為良率高低的關鍵所在。

　　如何讓經驗判斷成為可供參考的數據模擬，臺灣工研院嘗試著將實驗參數導入巨量數據庫，透過相關參數的優化，節省制程開發驗證的時間，開發出“磊晶制程參數優化系統”，透過知識系統的建立，也能縮短相關人才的養成時間。

　　臺灣工研院研發的磊晶制程參數優化系統，是以有機金屬化學氣相沉積設備(MOCVD)的氣流、熱流、化學反應機制與氣體噴灑頭關鍵模組虛實整合技術，突破傳統磊晶廠找出最佳化制程參數方式。此項磊晶制程數碼化制造技術，也就是導入ECOS(Epitaxy Optimum Coupling System)這個虛實整合系統(Cyber-Physical System，CPS)。在這個系統中，“實體”部份是指結合機臺與制程的氣體噴灑模組;“虛擬”部份則是指制程參數數據庫。透過工研院進行的測試，研發團隊已能掌握氣體噴灑模組性能，以及制程參數數據庫的操作方式及參數調控準確度。

　　透過此一開發成果，不僅制程準確性獲得提高，磊晶參數決定時間從原來一周縮短為不到2小時，透過將經驗數值化，也能將人員異動對制程所造成的影響降至最低。